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名稱:六氟化鎢

分類:六氟化鎢

賣家:常州大成工業(yè)氣體有限公司

地址:常州市金壇區(qū)龍湖路33號

咨詢服務熱線:

15961136667

產(chǎn)品詳情

六氟化鎢 WF6)

 

項目名稱

純度指標(%

六氟化鎢

≥99.999

雜質(zhì)含量(ppm)

二氧化碳(CO2

≤0.5

氮氣(N2

≤1

氧氣+氬氣(O2+Ar

≤0.5

一氧化碳(CO)

≤0.5

四氟化碳(CF4

≤0.5

三氟化氮(NF3

≤0.5

四氟化硅 (SiF4)

≤0.5

氟化氫(HF

≤5

金屬離子(Metals)

≤1.5


包裝:采用40L、44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要,分裝到4-10L的氣瓶中。 

 

用途:在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復合涂層,可用于X-射線的發(fā)射電極。此外,WF6在電子行業(yè)中還主要用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。

 

理化性質(zhì): 能與許多物質(zhì)發(fā)生化學反應,遇潮濕、空氣或水分解,散發(fā)劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。腐蝕性很強,能侵蝕幾乎所有的金屬,能迅速腐蝕濕的玻璃。

 

注意事項:

一、泄漏應急處理:迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū),禁止無關(guān)人員進入污染區(qū),應急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠商特別推薦的化學防護服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或擴散),但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。勿使水進入包裝容器內(nèi),抽排(室內(nèi))或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用,且要經(jīng)過技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。

二、防護措施:

1、呼吸系統(tǒng)防護:可能接觸毒物時,必須佩戴防毒面具。

2、眼睛防護:戴安全防護眼鏡。

3、身體防護:穿膠布防毒服。

4、手防護:戴防化學品手套。

三、急救措施

1、皮膚接觸:脫去污染的衣著,用流動清水沖洗。在灼傷處涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水。就醫(yī)。

2、眼睛接觸:立即翻開上下眼瞼,立即用大量流動清水徹底沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。

3、吸入:脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。立即就醫(yī)。

4、食入:誤服者用水漱口,飲牛奶或蛋清,立即就醫(yī)。

5、滅火方法:泡沫、二氧化碳、干粉。


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